对于硅片生产的温度范围为35—45%。2、洁净室中的气压规定对于大部分洁净空间，为了防止外界污染侵入，需要保持内部的压力（静压）高于外部的压力（静压）。压力差的维持一般应符合以下原则：1．洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。2.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。3.相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间。压力差的维持依靠新风量，这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄（或渗透）风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。 次数用完api key 超过次数---
4、电子厂净化车间内的新鲜空气量应取下列二项中的大值：(1)补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。(2)---供给电子厂净化车间内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。(3)电子厂净化车间净化空调系统加热器，应设置新风，超温断电保护，若采用点加湿时应设置无水保护，三明中央空调，寒冷地区，新风系统应设置防冻保护措施。无尘室的送风量，应取下面三项大值：---净化车间空气洁净度等级的送风量;根据热，湿负荷计算确定电子厂洁净室的送风量;向电子制造厂洁净室的新鲜空气量。 次数用完api key 超过次数---
净化工程也称为洁净室或洁净室，它是污染控制的基础，没有洁净室污染敏感部件不能---生产，在一定的空间内，中央空调中心，去除空气中的微粒有害空气---和其他污染物，并控制室内温度，清洁度、压力、气流速度和气流分布，中央空调安装，噪声振动和照明，以及一定范围内的静电需求。净化工程中央空调光催化空气净化消毒器模块由涂层二氧化钛细钢丝网，一次和中效过滤器，纳米二氧化钛光催化室和智能控制系统等多种因素组成。它是一种有效的多因素空气净化灭菌器，用于预防呼吸道，预防空气传播的---，中央空调设计，消除---危害和降低室内污染。净化工程设备中的负离子净化空气系统可以降低空气中悬浮颗粒物的浓度，但不能消灭---、---，也不能分解污染物。 次数用完api key 超过次数---
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